رباعي إيثيل أورثوسيليكات، المعروف أيضًا باسم رباعي إيثوكسيسيلان (TEOS)، هو مركب عضوي يُشار إليه بالصيغة Si(OC2H5)4. هذا السائل عديم اللون يتعرض للتحلل عند تعرضه للماء. يعمل TEOS بمثابة إستر إيثيل لحمض أورثوسيليسيك، Si(OH)4، ويُعرف على نطاق واسع بأنه ألكوكسيد السيليكون السائد.
