رباعي إيثيل أورثوسيليكات ، والمعروفة أيضًا باسم رباعي إيثوكسي سيلان ( تيوس )، مركب عضوي يُرمز له بالصيغة Si(OC2H5)4. يتحلل هذا السائل عديم اللون عند تعرضه للماء. يعمل TEOS كإستر إيثيلي لحمض أورثوسيليك، Si(OH)4، ويُعرف على نطاق واسع بأنه ألكوكسيد السيليكون السائد.
سيليكات الإيثيل -28 هو سيليكات الإيثيل الأحادي ، والمعروفة أيضًا باسم رباعي إيثيل أورثوسيليكات (TEOS). بعد التحليل المائي، يُنتج 28% وزناً من السيليكا، ومن هنا جاء اسم سيليكات الإيثيل-28. صيغته الكيميائية هي:
