رباعي إيثيل أورثوسيليكات ، المعروف أيضًا باسم رباعي إيثوكسيسيلان ( TEOS ) ، هو مركب عضوي يُشار إليه بالصيغة Si (OC2H5) 4. يتحلل هذا السائل عديم اللون عند تعرضه للماء. يعمل TEOS كإستر إيثيل لحمض الأورثوسيليك ، Si (OH) 4 ، وهو معروف على نطاق واسع بأنه ألكوكسيد السيليكون السائد.