رباعي إيثيل أورثوسيليكات ، والمعروفة أيضًا باسم رباعي إيثوكسي سيلان ( تيوس )، مركب عضوي يُرمز له بالصيغة Si(OC2H5)4. يتحلل هذا السائل عديم اللون عند تعرضه للماء. يعمل TEOS كإستر إيثيلي لحمض أورثوسيليك، Si(OH)4، ويُعرف على نطاق واسع بأنه ألكوكسيد السيليكون السائد.